热气泡式喷墨打印头

　　近日，位于苏州工业园区的某国内知名企业完成了商业化热气泡式喷墨打印头产品开发。该产品打印分辨率达1200dpi，即将率先投入市场。据了解，该产品芯片由苏州微纳制造中试线加工。

　　苏州微纳制造中试线是国内首个全开放、市场化运营的中试平台，在热气泡式喷墨打印头产品加工过程中，凭借独具优势的工艺模块和相关核心技术，成功帮助该客户实现了科研级、工业级热气泡式喷墨打印头的工艺开发，为客户提供了可批量生产的喷墨头产品。

　　据苏州微纳制造中试线介绍，热气泡式喷墨打印头加工工艺，涉及高性能电阻薄膜制备、异型孔DRIE刻蚀、高精度高均匀性喷射结构制备等关键技术，其中包含微结构加工工艺、释放工艺、牺牲层材料工艺、结构层材料工艺等多种工艺模块。苏州微纳制造中试线完成了高均匀性电阻薄膜沉积、低温低应力PECVD薄膜沉积、牺牲层释放、喷孔结构层制备、有机材料层刻蚀及释放、高深宽比异型孔深硅刻蚀等多种新工艺和特殊工艺的开发，以及可用于喷墨头产品的工艺集成技术的开发。

　　据了解，基于MEMS制造工艺的热气泡式喷墨打印头进一步提高了喷墨印刷的效率和水平，为制造更低成本、更高性能喷墨打印头提供了思路，在纺织品印刷、喷绘印刷、陶瓷打印以及3D打印等工业应用领域具有广阔市场前景。

　　据麦姆斯咨询透露，法国市场研究机构Yole预测，2021年MEMS喷墨打印头市场将增长至10亿美元，其中办公、商业和工业打印市场规模预计达3.65亿美元。

　　喷墨打印技术是工业4.0智能制造领域的关键共性核心技术之一。以喷墨打印为基础的数码制造技术对纺织、生物医疗、工业、能源、电子、和建筑等行业具有变革性的影响。据了解，我国工业喷墨打印头市场主要被国外品牌所垄断，目前国内具有自主知识产权喷墨打印头企业和科研机构已加大科研攻关力度，打造后发优势，推动中国喷墨打印技术的研究与产业化，抢占我国巨大的应用市场机遇。

[时间：2017-02-24  来源：苏州纳米城]